氣體圈子訊，11月25日，據(jù)科創(chuàng)板上市委2022年第96次審議會議結(jié)果顯示,廣東華特氣體股份有限公司公開發(fā)行可轉(zhuǎn)債獲通過。 此次擬募資總額不超6.46億元，其中3.83億元用于年產(chǎn)1764噸半導(dǎo)體材料建設(shè)項(xiàng)目，7300萬元用于研發(fā)中心建設(shè)項(xiàng)目，其余1.9億元用于補(bǔ)充流動(dòng)資金。

“我國是全球半導(dǎo)體消費(fèi)大國，半導(dǎo)體行業(yè)景氣度持續(xù)走高，但國內(nèi)半導(dǎo)體用電子氣體市場一直被國際巨頭壟斷，為我國半導(dǎo)體供應(yīng)鏈的健康發(fā)展帶來了不確定性。華特氣體募投項(xiàng)目中的產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的關(guān)鍵環(huán)節(jié)，該項(xiàng)目的實(shí)施有助于提升公司產(chǎn)能，擴(kuò)大公司經(jīng)營規(guī)模，從而帶動(dòng)本土企業(yè)積極參與國際競爭，推動(dòng)國產(chǎn)替代的發(fā)展進(jìn)程。”深度科技研究院院長張孝榮向《證券日報(bào)》記者表示。

募資加碼半導(dǎo)體用特種氣體

據(jù)悉，在半導(dǎo)體材料中，電子特種氣體幾乎滲透到集成電路生產(chǎn)的每個(gè)環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有重大影響，被稱為半導(dǎo)體制造的“糧食”。

華特氣體表示，募投項(xiàng)目產(chǎn)品均為電子特種氣體，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)的蝕刻、摻雜、沉積等工藝。其中，高純一氧化碳、高純一氧化氮、超高純氫氣及超純稀有氣體系公司原有的優(yōu)勢產(chǎn)品，近年來下游需求不斷增長，目前公司產(chǎn)能出現(xiàn)瓶頸，亟須擴(kuò)產(chǎn)。

稀有氣體是半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中所需的關(guān)鍵材料之一，主要應(yīng)用于光刻、蝕刻、 冷卻等環(huán)節(jié)。本次募投項(xiàng)目規(guī)劃生產(chǎn)高純氪氣、氖氣、氙氣、氦氣相關(guān)稀有氣體共135噸，通過外購粗品純化的方式進(jìn)行生產(chǎn)。

而高純六氟丙烷、電子級溴化氫和電子級三氯化硼為公司規(guī)劃的新產(chǎn)品，相關(guān)產(chǎn)品均著眼于下游半導(dǎo)體等應(yīng)用領(lǐng)域的未來發(fā)展趨勢，結(jié)合下游客戶的需求所布局，相關(guān)產(chǎn)品均具備較大的未來市場空間和國產(chǎn)化替代空間。

事實(shí)上，華特氣體擴(kuò)產(chǎn)電子特種氣體的動(dòng)作不止于此。公司還曾于9月26日晚發(fā)布公告表示，戰(zhàn)略布局華東生產(chǎn)基地項(xiàng)目。項(xiàng)目總投資5億元。建成后可生產(chǎn)2000噸/年高純氟碳?xì)怏w、1000噸/年高純二氧化碳和1000噸/年高純氧化亞氮等電子氣體。高校實(shí)驗(yàn)室半導(dǎo)體潔凈車間特氣集中供氣

加速實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代

電子特種氣體地位重要且市場空間廣闊，但目前國內(nèi)自主生產(chǎn)的電子特種氣體市場份額占比較小，還有較大的突破空間。華特氣體表示，長期以來，我國6N及6N以上的超高純氣體以及半導(dǎo)體前驅(qū)體材料主要依賴于國外進(jìn)口，國內(nèi)行業(yè)內(nèi)企業(yè)亟待能夠打破國外壟斷、實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)替代，形成自主可控的產(chǎn)業(yè)集群。

以華特氣體此次規(guī)劃的新產(chǎn)品電子級三氯化硼為例，電子級三氯化硼是用于半導(dǎo)體和集成電路領(lǐng)域的高純度三氯化硼，其純度需要達(dá)到99.99%以上。電子級三氯化硼主要應(yīng)用于電子工業(yè)硅半導(dǎo)體器件和集成電路生產(chǎn)所用的擴(kuò)散、離子注入、干法蝕刻等工藝，其雜質(zhì)含量和純度直接影響半導(dǎo)體器件和集成電路的性能指標(biāo)和良率，純度一般要求在5N以上，生產(chǎn)技術(shù)壁壘較高。

華特氣體相關(guān)負(fù)責(zé)人表示，“公司本次募投項(xiàng)目規(guī)劃電子級三氯化硼共300噸，主要目標(biāo)是對目前我國集成電路等領(lǐng)域使用的電子級三氯化硼產(chǎn)品進(jìn)行一定程度的國產(chǎn)替代。同時(shí)也有同行業(yè)其他公司在向這個(gè)目標(biāo)努力。本次募投項(xiàng)目將進(jìn)一步提高半導(dǎo)體材料國產(chǎn)化率，此外還能進(jìn)一步完善公司產(chǎn)品布局，擴(kuò)充公司氣體產(chǎn)品種類，為公司后續(xù)的業(yè)績貢獻(xiàn)新的利潤增長點(diǎn)?！?/p>

來源：氣體圈子公眾號