硅烷即硅與氫的化合物,是一系列化合物的總稱,包括甲硅烷( SiH4) 、乙硅烷( Si2H6) 和一些更高級(jí)的硅氫化合物。目前應(yīng)用最多的是甲硅烷。一般把甲硅烷簡(jiǎn)稱做硅烷。硅烷作為一種提供硅組分的氣體源,可用于制造高純度多晶硅、單晶硅、微晶硅、非晶硅、氮化硅、氧化硅、異質(zhì)硅、各種金屬硅化物。 因其高純度和能實(shí)現(xiàn)精細(xì)控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特種氣體。硅烷廣泛應(yīng)用于微電子、光電子工業(yè), 用于制造太陽(yáng)電池、平板顯示器、玻璃和鋼鐵鍍層, 并且是迄今世界上唯一的大規(guī)模生產(chǎn)粒狀高純度硅的中間產(chǎn)物。硅烷的高科技應(yīng)用還在不斷出現(xiàn), 包括用于制造先進(jìn)陶瓷、復(fù)合材料、功能材料、生物材料、高能材料等等,成為許多新技術(shù)、新材料、新器件的基礎(chǔ)。硅烷又以它特有的自燃、爆炸性而著稱。硅烷有非常寬的自發(fā)著火范圍和極強(qiáng)的燃燒能量,決定了它是一種高危險(xiǎn)性的氣體。
管束式集裝箱技術(shù)參數(shù):
公稱工作壓力: | 16.6Mpa | 使用環(huán)境溫度: | -40-60℃ |
盛裝介質(zhì): | 硅烷siH4 | 設(shè)計(jì)溫度范圍: | -40-60℃ |
介質(zhì)特性: | 易燃無毒 | 氣密性試驗(yàn)壓力: | 16.6Mpa |
空箱質(zhì)量: | 17990kg | 氣瓶數(shù)量: | 12瓶 |
最大允許充裝量: | 4224kg | 總?cè)莘e: | 13.2m3 |
額定質(zhì)量: | 29800kg | 設(shè)計(jì)使用年限: | 20年 |
外形尺寸: | 6058*2438*1994mm | 允許堆碼層數(shù): | 7層 |
大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶技術(shù)參數(shù):
氣瓶型號(hào): | TUBE1-559-1100-16.6-Ⅰ | 使用環(huán)境溫度: | -40-60℃ |
公稱工作壓力: | 16.6Mpa | 最大允許充裝量: | 352kg |
公稱容積: | 1.1m3 | 瓶體材料: | 4130X/30CrMo |
水壓試驗(yàn)壓力: | 27.7Mpa | 氣瓶規(guī)格(外徑*壁厚*長(zhǎng)度): | φ558.8*13.7*5490mm |
1. 引言
硅烷槽車是用于運(yùn)輸硅烷的特殊車輛。硅烷是一種無色、易燃、有毒的液體,在半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域有廣泛的應(yīng)用。為了確保硅烷的安全運(yùn)輸,硅烷槽車方案應(yīng)當(dāng)考慮車輛的設(shè)計(jì)、裝載與卸載方案,以及安全措施等方面。
本文檔將介紹硅烷槽車的設(shè)計(jì)要求、裝載與卸載方案,以及安全措施等內(nèi)容。
2. 硅烷槽車設(shè)計(jì)要求
硅烷槽車的設(shè)計(jì)要求主要包括以下幾個(gè)方面:
2.1 容量要求
硅烷的運(yùn)輸量較大,因此硅烷槽車的容量要求較高。一輛標(biāo)準(zhǔn)的硅烷槽車的容量通常在1000-3000升之間,根據(jù)運(yùn)輸需求可進(jìn)行調(diào)整。
2.2 材質(zhì)要求
由于硅烷具有易燃、有毒的性質(zhì),硅烷槽車的材質(zhì)應(yīng)具備良好的防腐蝕、耐高溫、耐腐蝕等特性。常見的硅烷槽車材料包括不銹鋼和鋁合金等。
2.3 車輛結(jié)構(gòu)要求
硅烷槽車的結(jié)構(gòu)應(yīng)具備良好的密封性,以防止硅烷泄漏。車輛應(yīng)配備合適的閥門和管道系統(tǒng),以便進(jìn)行裝載與卸載操作。
2.4 車輛性能要求
硅烷槽車的性能要求包括動(dòng)力性能、制動(dòng)性能、懸掛性能等。車輛應(yīng)具備良好的操控性與穩(wěn)定性,以確保運(yùn)輸過程中的安全性。
3. 硅烷槽車裝載與卸載方案
3.1 硅烷裝載方案
硅烷的裝載需要一定的特殊設(shè)備。在裝載過程中,應(yīng)按照以下步驟進(jìn)行操作:
1.確保裝載區(qū)域通風(fēng)良好,并遠(yuǎn)離火源。
2.進(jìn)行裝載前的安全檢查,確保硅烷槽車的密封性良好。
3.打開裝載區(qū)域的閥門,并將硅烷轉(zhuǎn)移到硅烷槽車中。
4.在裝載過程中,應(yīng)嚴(yán)格控制硅烷的流量,避免泄漏。
3.2 硅烷卸載方案
硅烷的卸載也需要特殊設(shè)備。在卸載過程中,應(yīng)按照以下步驟進(jìn)行操作:
5.確保卸載區(qū)域通風(fēng)良好,并遠(yuǎn)離火源。
6.進(jìn)行卸載前的安全檢查,確保硅烷槽車的密封性良好。
7.打開卸載區(qū)域的閥門,并將硅烷從硅烷槽車中轉(zhuǎn)移出來。
8.在卸載過程中,應(yīng)嚴(yán)格控制硅烷的流量,避免泄漏。
4. 硅烷槽車安全措施
為了確保硅烷槽車的安全運(yùn)輸,應(yīng)采取以下安全措施:
9.硅烷槽車應(yīng)配備防火、防爆設(shè)備,以防止硅烷泄露引發(fā)火災(zāi)或爆炸事故。
10.硅烷槽車應(yīng)定期進(jìn)行安全檢查和維護(hù),確保車輛的密封性和性能良好。
11.運(yùn)輸過程中,應(yīng)避免與易燃物質(zhì)和氧化劑等物質(zhì)接觸,以免發(fā)生危險(xiǎn)事故。
12.司機(jī)應(yīng)具備相關(guān)的專業(yè)知識(shí)和駕駛技能,能夠應(yīng)對(duì)緊急情況。
5. 結(jié)論
硅烷槽車方案的設(shè)計(jì)要求包括容量、材質(zhì)、車輛結(jié)構(gòu)和性能等方面。在裝載與卸載方案上,需要注意硅烷的特殊性,采取防止泄漏的措施。為確保硅烷槽車的安全運(yùn)輸,應(yīng)采取適當(dāng)?shù)陌踩胧?,包括防火、防爆設(shè)備的配備和定期維護(hù)等。
通過合理的設(shè)計(jì)和操作,硅烷槽車可以安全、高效地運(yùn)輸硅烷,為半導(dǎo)體制造等領(lǐng)域的發(fā)展提供了重要支持。
管束車技術(shù)要求:
1、本設(shè)備為僅適用于公路鐵路和水路聯(lián)運(yùn)的特種設(shè)備,按Q/SVSK 9-2020《高壓液化氣體管束式集裝箱》的要求設(shè)計(jì)、制造、檢驗(yàn)和驗(yàn)收 ,并按TSG R0005-2011《移動(dòng)式壓力容器安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》的監(jiān)察。
2、大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶(TUBE 1-559-1100-16.6-Ⅰ)按GB/T 33145-2016《大容積鋼質(zhì)無縫氣瓶》的要求進(jìn)行設(shè)計(jì)、制造、檢驗(yàn)和驗(yàn)收,并接受TSG R0006-2014《氣瓶安全技術(shù)監(jiān)察規(guī)程》監(jiān)察;端塞材料的化學(xué)成分和力學(xué)性能應(yīng)符合相應(yīng)鍛件材料標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定。
3、集裝箱框架外廓外寸應(yīng)按圖要求且須符合GB/T 1413-2008《系列1 集裝箱分類、尺寸和頻定質(zhì)量》的規(guī)定。
4、角件須符合GB/T 1835-2006《系列1 集裝箱 角件》標(biāo)準(zhǔn)的規(guī)定;角件定位尺寸按GB/T 1413-2008標(biāo)準(zhǔn)要求。
5、角件與框架方管各連接焊縫表面應(yīng)無肉眼可見的氣孔、咬邊、裂紋等陷。圖中未注角焊縫焊腳高度取較薄者厚度,未注焊縫的焊接方式為連續(xù)焊。焊接接頭尺寸應(yīng)將合HG/T 20583-2011標(biāo)準(zhǔn)的要求。鋼瓶體上不得施焊。
6、管路系統(tǒng)用不銹鋼無縫鋼管材料應(yīng)符合ASME SA-213規(guī)定。
7、管路系統(tǒng)的焊接工藝評(píng)定應(yīng)符合NB/T 47014-2011《承壓設(shè)備焊接工藝評(píng)定》,管路焊接接頭的焊接工藝應(yīng)符合NB/T 47015-2011《壓力容器焊接規(guī)程》的規(guī)定。
8、管路系統(tǒng)焊接后對(duì)接接頭應(yīng)進(jìn)行100%射線檢測(cè),合格級(jí)別滿足企標(biāo)要求;角接接頭進(jìn)行100%滲透檢測(cè)合格級(jí)別滿足企標(biāo)要求。
9、管路系統(tǒng)經(jīng)無損檢測(cè)合格后應(yīng)進(jìn)行氣壓試驗(yàn),試驗(yàn)介質(zhì)為高純度氮?dú)猓兌取?9.99%)試驗(yàn)壓力27.7Mpa。
10、組裝前,鋼瓶應(yīng)逐只進(jìn)行水壓式驗(yàn),試驗(yàn)壓力加27.7Mpa,水壓試驗(yàn)合格后氣戰(zhàn)內(nèi)部應(yīng)烘干。合格后氣瓶?jī)?nèi)壁應(yīng)進(jìn)行研磨處理,處理后內(nèi)表面質(zhì)量滿足企標(biāo)或符合客戶訂貨技術(shù)協(xié)議的要求。
11、組裝后應(yīng)進(jìn)行尺寸和外觀檢驗(yàn),合格后進(jìn)行整體氣密性試驗(yàn),試驗(yàn)介質(zhì)為10%He與90%N2的混合氣,試驗(yàn)壓力為16.6Mpa,保壓時(shí)間30分鐘,無泄漏為合格。
12、氣密性試驗(yàn)合格后應(yīng)進(jìn)行氫質(zhì)譜檢漏,漏率不大于1.0×10-7Pa·m3/L為合格。
13、檢驗(yàn)合格后應(yīng)進(jìn)行抽真空處理,處理后的真空度<2x10-2mbar。
14、抽真空后充入0.1~0.3MPa高純度氮?dú)膺M(jìn)行保護(hù),并檢測(cè)含水量不大于1PPMv為合格成符合客戶訂貨技術(shù)協(xié)議要求。
15、產(chǎn)品外表面應(yīng)涂防銹底漆和灰色聚氨脂面漆,總漆膜厚度不小于240μm。
注:裝卸口中心距離底角件下底面尺寸260mm。
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