高純氣體供氣系統(tǒng)
一、高純氣體系統(tǒng)的種類1、簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。...
lancker3年前 (2022-10-06)1593
實(shí)驗(yàn)室氣路供氣管路敷設(shè)要求
1、供氣管路宜架空敷設(shè)，不宜在地面或地下敷設(shè)。供氣管路應(yīng)避開(kāi)高溫、易受機(jī)械損傷、腐蝕、強(qiáng)烈振動(dòng)及工藝管路或設(shè)備物料排放口等不安全環(huán)境。2、供氣管路應(yīng)避免U形配管，在管網(wǎng)干線的最低點(diǎn)應(yīng)設(shè)排污閥。排污閥宜...
lancker3年前 (2022-09-24)1541
實(shí)驗(yàn)室的氣體管路有什么要求
實(shí)驗(yàn)室氣路指實(shí)驗(yàn)室氣體管道工程，即從氣瓶至儀器終端之間連接的管線。實(shí)驗(yàn)室氣體管路安裝是從氣源鋼瓶站(氣瓶間)總閥門到各相關(guān)的儀器間工作臺(tái)上各個(gè)氣體閥門,一系統(tǒng)的工藝流程。氣路系統(tǒng)主要應(yīng)用于處理高純度氣...
lancker3年前 (2022-09-23)2736
